• 因使用薄膜基材，可以再剥离。
• 宽幅最大可以对应到2150 mm。
• 双面离型纸类型，粘合剂表面的平滑性非常出色。
• 专门为CMP研磨开发的胶带
• 包括泡棉和非泡棉型
• 粘合剂包括橡胶系和丙烯酸系
• CMP抛光垫固定用
• 包括PAD侧和定盘侧固定
产品参数
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项目 |
感压型 |
感热型 |
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一般类型 |
双面粘性不同类型 |
双面粘性不同类型 |
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胶带厚度（μｍ） |
130 |
108 |
138 |
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粘合力（N/25mm） （SUS、23℃） |
强粘合面 |
6 |
12 |
30 |
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强粘合面 |
5 |
6 |
20 |
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粘合剂 |
丙烯酸类 |
丙烯酸类 |
丙烯酸类 |
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基材 |
OPP |
PET |
PET |
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离型纸·离型膜 |
单面离型膜 |
双面离型膜 |
单面离型膜 双面离型膜 |
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纸 |
纸/薄膜 |
纸/薄膜 |
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用途列 |
晶圆的研磨 |
硬盘基板的研磨 |
液晶玻璃基板的研磨 |
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※粘合力的测试方法是根据旧JIS Z0237
※以上数据为测量值，非保证值。
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